华为最新投向光刻机 一图看懂国产产业链名单_3DM单机

6月7日讯，在华为重磅发布HarmonyOS 2(鸿蒙操作系统)的当天，天眼查显示，华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域了，入股了由中科院微电子所控股的北京科益虹源公司。

公开信息显示，北京科益虹源光电技术公司的控股股东是中科院微电子所，持股26.6%，主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统，是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。

光刻胶板块最近几日表现比较强势，近两周累计涨幅接近15%。

方正证券指出，光刻机作为前道工艺七大设备之首(光刻机、刻蚀机、镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备)，价值含量极大，在制造设备投资额中单项占比高达23%，技术要求极高，涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。光刻机是人类文明的智慧结晶，被誉为半导体工业皇冠上的明珠。

方正证券认为，目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断 ,CR3高达99%。在当前局势下，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义。在02专项光刻机项目中，设定于2020年12月验收193纳米ArF浸没式DUV光刻机，其制程工艺为28纳米。考虑到此项目作为十三五目标，未来具有较大的明确性，结合 28nm作为当前关键技术节点的性能和技术优势，光刻机国产替代将迎来新的曙光。

方正证券陈杭建议关注光刻产业链，一是光刻机核心组件：负责整体集成的上海微电子、负责光源系统的科益虹源，负责物镜系统的国望光学，负责曝光光学系统的国科精密，负责双工作台的华卓精科，负责浸没系统的启尔机电;二是光刻配套设施：包括光刻胶，光刻气体，光掩模版，光刻机缺陷检测设备，涂胶显影设备等。

方正证券梳理光刻机产业链如下图：