中芯国际上海建12英寸晶圆厂：大陆第一次FinFET、直奔7nm_3DM单机

近日，上海市公布了2021年重大建设项目清单，中芯国际的12英寸芯片SN1项目入选，目前处于在建状态。

中芯国际的12英寸芯片SN1项目由中芯国际旗下的中芯南方负责，总投资额90.59亿美元，其中生产设备购置和安装费就有73.30亿美元，规划月产能3.5万片晶圆。

这是中国内地第一条FinFET工艺生产线，也是中芯国际14nm及以下先进工艺研发和量产的主要承载平台，未来覆盖工艺节点可直达7nm。

中芯国际联席CEO梁孟松此前曾披露，中芯国际的28nm、14nm、12nm、N+1等技术均已进入规模量产，7nm技术开发已经完成，今年4月可以进入风险量产，5nm、3nm最关键也是最艰巨的8大项技术也已经有序展开，只等EUV极紫外光刻机到来，就可以进入全面开发阶段。

去年7月，中芯国际正式登陆科创板，发行总股本为71.3642亿股，上市募集资金中40％用于12英寸芯片SN1项目，20％作为先进及成熟工艺研发项目的储备资金，40％作为补充流动资金。

中芯国际12英寸芯片SN1、SN2厂房建设项目位于上海浦东新区张江高科技园区，目前的主要建设内容包括SN1生产厂房、CU8动力车间、SO8生产调度及研发楼三个大的单体建筑物，以及一些配套设施。